Получение тонкопленочных полупроводниковых слоев оксидов металлов золь-гель методом
Ключевые слова:
золь-гель метод, тонкопленочные структуры, полупроводниковые материалы, проводящее стекло, диоксид оловаАннотация
Представлен обзор основных приемов и подходов при получении полупроводниковых оксидных структур на стеклянной подложке золь-гель методом. Обобщены и описаны основные стадии получения прекурсоров, приготовления и нанесения золя, получения проводникового покрытия, применимые для такого рода материалов. Экспериментально получены и охарактеризованы образцы на основе диоксида олова.
Библиографические ссылки
Matsuyama T. et al. High-quality polycrystalline silicon thin film prepared by a solid phase crystallization method // Journal of Non-Crystalline Solids. 1996. Т. 198. P. 940–944.
Нижегородова А.О. Нанокомпозитные металл-полимерные материалы на основе оксидов переходных металлов и поли-3,4- этилендиокситиофена: синтез и электрохимические свойств // Дисс. на соиск. степ. к.х.н. СПб, 2016. C. 149.
Пронин И.А. Анализ концентрации собственных дефектов при создании газочувствительных структур на основе диоксида олова // Молодой ученый. 2012. №. 8. С. 7–8.
Харитонов Ю.Я. Аналитическая химия (аналитика). Количественный анализ. Физикохимические (инструментальные) методы анализа. М.: Высш. шк., 2001. C. 334–351.
Белоусов А.Л., Патрушева Т.Н. Электрохромные оксидные материалы // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. 2014. Т. 7. № 6.
Ou J.Z. et al. Anodic formation of a thick three-dimensional nanoporous WO3 film and its photocatalytic property // Electrochemistry communications. 2013. Т. 27. С. 128–132.
Fang Y., Sun X., Cao H. Influence of PEG additive and annealing temperature on structural and electrochromic properties of sol–gel derived WO3 films // Journal of sol-gel science and technology. 2011. Т. 59, № 1. С. 145–152.
Parashar M., Shukla V.K., Singh R. Metal oxides nanoparticles via sol–gel method: a review on synthesis, characterization and applications // Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2020. С. 1–21.
Бессудова Е.В. Синтез и исследование наноразмерных частиц диоксида титана для применения в катализе и нанобиотехнологиях // Дисс. на соиск. степ. к.х.н. Новосибирск, 2014. С. 145.
Brinker C.J., Scherer G.W. Sol-gel science: the physics and chemistry of sol-gel processing // Library of Congress Cataloging-in-Publication Data. 1990. C. 1−907.
Sharbatdaran M., Novinrooz A., Noorkojouri H. Preparation and characterization of WO3 electrochromic films obtained by the sol-gel process // Iranian Journal of Chemistry and Chemical Engineering (IJCCE). 2006. Т. 25, № 2. С. 25–29.
Jang J. et al. Optical and Electronic Properties of SnO2 Thin Films Fabricated Using the SILAR Method // Society of sensors. 2015. Т. 24, № 6. P. 364–367.
